光学微电子净化工程
发布日期：2019-9-16 10:58:49 访问次数：2807
光学微电子净化工程
适应行业：LED照明、眼镜、激光、红外、显微镜 建议等级：100级-10万级
净化方案一：
组合式空气处理机组+冷水机组+高效送风口
这是一个传统的净化空调系统的设计方案。组合式空气处理机组里含有各种功能段，如混合段、初效过滤段、表冷段、二次回风段(或中间段)、加热段、加湿段、中效过滤段、风机段等。其冷源由冷水机组提供。
方案特点：
A.建议新风经过集中处理后再与回风混合，这样可以减少表冷段的冷处理负担;
C.这类方案一般可以适用洁净度较高的如百级、千级或万级、十万级等较低的净化无尘厂房。
净化方案二：
水冷柜机+增压风柜+高效送风口
与前种方案比较，这是相对比较简单的空调方案。它可以大大地缩小机房的面积，水冷柜机可以根据具体的情况布置于较小机房内或威尼斯欢乐娱人城内，增压风柜也可以布置于机房内或吊在机房内或在夹层内。
方案特点：
这种方案可以是一次回风也可以是二次回风，具体根据车间的大小情况而定;这类方案一般可以适用于洁净度为千级、万级、十万级等的净化无尘厂房。
净化方案三：
分体空调柜机+FFU送风口
这是简易的一个空调方案。是直接将分体空调柜机布置于车间内，并用彩钢围护起来，在柜机回风口处再在彩钢板上开回风口(带初效过滤网);KLC风机过滤单元FFU均匀布置于吊顶天花。这个方案适用于对室内温湿度精度要求不高的无尘车间。
方案特点：
A、无尘车间的洁净度：LCD制屏的简略流程为：清洗→印刷取向膜→磨擦→密封印刷层散布隔垫物→组合→划线和切割→LC注入→贴偏振片→制屏终检。
B、温湿度要求：温度一般为24+2℃，相对湿度为55+5%。
C、新风量大
D、送风量大
| 等级 | 等级说明及车间应用 |
| 1级 | 这个级别的无尘车间主要用于制造集成电路的微电子工 业，对集成电路的精确要求为亚微米 |
| 10级 | 这个级别的无尘车间主要用于带宽小于2微米的半导体工业 |
| 100级 | 很多人认为，这一级无尘车间是常用因而是重要的无尘车间，人们常常错误地将100级洁净室称为无菌室，以说明“无菌”的或“无尘”的环境要求，100级无尘室可用于医药工业的无菌制造工艺等，这一洁净室大量应用于，植如体内物品的制造，外科手术，包括移植手术，集成器的制造，那些对细菌感染特别敏感的病人的隔离治疗，比如像骨髓移植病人术后的隔离治疗 |
| 1000级 | 这个级别的无尘车间主要用于高质量光学产品的生产，还用于测试，装配飞机蛇螺仪，装配高质微型轴承等 |
| 10000级 | 万级无尘车间用于液压设备或气压设备的装配，某些情况下也用于食品饮料工业，此外，万级无尘车间在医工业中也很常用 |
| 100000级 | 十万级无尘车间用于很多的工业部门，比如光学产品的制造，用于较小的元器件制造大型的电子系统，液压或气压系统的制造，食品饮料的生产，医、药工业也常常使用这一级无尘车间 |
洁净室（区）空气洁净级别表
| 洁净度级别 | 尘粒大允许数/立方米≥0.5μm尘粒数 | ≥5μm尘粒数 | 微生物大允许数浮游菌/立方米 | 沉降菌/皿 |
| 100级 | 3,500 | 0 | 5 | 1 |
| 10,000级 | 350，000 | 2，000 | 100 | 3 |
| 100，000级 | 3，500，000 | 20，000 | 500 | 10 |
| 300，000级 | 10，500，000 | 60，000 | 1000 | 15 |
光学微电子净化工程换气参数
| 换气次数： | 100000级≥15次；10000级≥20次；1000≥30次 | 压差： | 主车间对相邻房间≥5Pa |
| 平均风速： | 10级、100级0.3－0.5m/s | 温度： | 冬季＞16℃；夏季 ＜26℃；波动±2℃ 温度45－65％ GMP粉剂车间湿度在50％左右为宜 电子车间湿度略高以免产生静电 |
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